美國bird 8921SC13型雙電射頻終止載荷美國bird 8921SC13型雙電射頻終止載荷為了大限度地提高工藝的重復性和一致性,現代等離子體應用需要精確的射頻功率調節和控制。射頻發生器的校準、調節和監控是確保射頻電源準確、可重復地向腔室輸送射頻電源的關鍵組成部分。當使用像BAN4020系列這樣的精密功率傳感器時,VSWR目前提供超穩定、低VSWR負載,用于快速和精確地測量發電機輸出功率。8921SC13不僅提供低VSWR,而且在過程臨界頻率下,VSWR的總變化小于0.1分貝。由于校準時間不同,沒有必要進行負載熱身或重復性風險。這可以最小化與此校準相關的錯誤,并控制更關鍵的過程變量之一。

  美國bird 8921SC13型雙電射頻終止載荷技術規格如下：

項目編號

8921SC13

項目名稱

5千瓦,超穩定,油電射頻終止載荷

功率等級

5千瓦

頻率范圍及VSWR

直流至28兆赫@最大1.1兆赫。
不足1.05:1

阻擋物

50 (nominal)

Vswr穩定性

0-100%的穩定頻率功率

穩定頻率

13.56兆赫+10千赫

連接器

"QC" Type LC (Female) - normally supplied

互鎖熱開關-可選

一般都是封閉的。在236℃(457華氏度)開放

熱開關等級

115伏,10a
230真空,5a

溫度范圍

操作: +5 to +40 °C (+41 to +104 °F)
儲存: – 40 to +45 °C (– 40 to +113 °F)

高度

1520 m (5000 ft.)

潮濕

95%不凝結最大值。

冷卻法

石油介質和對流電流

尺寸

32.8" x 9.5" x 26.9"
832x241x681毫米

重量

126 lbs.
57千克

結束

環氧樹脂

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